Keithley 4200A-SCS – Präzises Halbleiter-Charakterisierungssystem für I-V-, C-V- und Puls-Messungen
Das Keithley 4200A-SCS Parameteranalysesystem ist eine hochintegrierte, modulare Plattform zur präzisen elektrischen Charakterisierung von Halbleiterbauelementen. Mit seiner umfassenden Auswahl an SMUs, CVUs, PMUs und Hochspannungseinheiten eignet sich das System ideal für Forschung, Entwicklung und Produktionstests in der Halbleitertechnik.
Die Plattform kombiniert präzise I-V-Messungen mit einer Auflösung bis 100 fA, niederfrequente Kapazitätsmessungen (10 mHz – 10 Hz) sowie AC-Kapazitätsmessungen im Bereich von 1 kHz bis 10 MHz. Das optionale CVIV-Modul ermöglicht einen nahtlosen Wechsel zwischen I-V- und C-V-Messungen – ganz ohne Umstecken an der Proberstation oder Neuverdrahten von Kabeln
Dank der ultraschnellen Puls-I-V-Einheit (PMU) und des Hochspannungs-Puls-Generators (PGU) sind auch transiente Analysen und mehrstufige Pulswellenformen mit 10-ns-Auflösung problemlos möglich. Die modulare Architektur ermöglicht eine einfache Anpassung an spezifische Messanforderungen – von Sub-Femtoampere-Strommessungen bis hin zu ±210 V DC-Quellen.
Mit dem Remote Preamp/Switch-Modul (RPM) wird die Messgenauigkeit nochmals erhöht, da es kapazitive Effekte minimiert und den Messbereich bis in den Picoampere-Bereich erweitert. Damit ist das 4200A-SCS eine zukunftssichere Lösung für präzise Halbleiteranalysen in Labor und Produktion.
